2024年10月31日，美國商務(wù)部和美國國家半導(dǎo)體技術(shù)中心 （NSTC） 的運營商 Natcast 公司共同宣布了第一個基于美國《芯片與科學法案》推動的芯片研發(fā)（R?&D） 旗艦設(shè)施的建設(shè)計劃，將在紐約州首府奧爾巴尼（Albany）的 NY CREATES運營的奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體（Albany NanoTech Complex）內(nèi)，打造CHIPS for America EUV（極紫外）加速器。預(yù)計將獲得8.25億美元的擬議聯(lián)邦投資的支持。
據(jù)介紹，這個EUV加速器將專注于推進最先進的EUV技術(shù)和依賴該技術(shù)的相關(guān)研發(fā)。同時，該EUV加速器還將匯集來自整個生態(tài)系統(tǒng)的 NSTC 成員，通過為 NSTC 成員提供技術(shù)、能力和關(guān)鍵資源來加速半導(dǎo)體研發(fā)和創(chuàng)新。
值得注意的是，在2023年12月11日，美國紐約州長Kathy Hochul就曾宣布，與包括IBM、美光、應(yīng)用材料（Applied Materials）、東京電子（Tokyo Electron）等半導(dǎo)體大廠達成一項合作協(xié)議，預(yù)計將投資100億美元在紐約州奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體興建下一代High-NA EUV半導(dǎo)體研發(fā)中心，以支持世界上最復(fù)雜、最強大的半導(dǎo)體的研發(fā)。
顯然，此次美國商務(wù)部和NSTC是在進一步對該項目進行支持，將該項目打造成美國芯片技術(shù)研發(fā)的 旗艦設(shè)施。
美國商務(wù)部長吉娜·雷蒙多 （Gina Raimondo） 表示：“通過第一個擬議的旗艦設(shè)施，芯片法案為 NSTC 提供了獲得尖端研究和工具的機會，它的推出代表了確保美國在創(chuàng)新和半導(dǎo)體研發(fā)方面保持全球領(lǐng)先地位的一個重要里程碑。芯片法案的研發(fā)部分對我們的長期國家安全至關(guān)重要，并確保美國仍然是地球上最具技術(shù)競爭力的地方。多虧了拜登總統(tǒng)和哈里斯副總統(tǒng)，我們不僅生產(chǎn)了世界上最先進的半導(dǎo)體;我們正在構(gòu)建一個有彈性的生態(tài)系統(tǒng)，為從智能手機到高級人工智能的一切提供動力，維護美國國家安全，并使美國在未來幾十年保持競爭力。”
“拜登-哈里斯政府的這項 8.25 億美元投資，將鞏固奧爾巴尼作為半導(dǎo)體創(chuàng)新和研發(fā)領(lǐng)域的企業(yè)家、研究人員和工程師的世界級中心的領(lǐng)導(dǎo)地位，”美國國家經(jīng)濟顧問萊爾·布雷納德說。
EUV 光刻技術(shù)對于制造更小、更快、更高效的微芯片至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體行業(yè)突破摩爾定律的極限，EUV 光刻技術(shù)已成為一項關(guān)鍵技術(shù)，可實現(xiàn)以前無法實現(xiàn)的 7nm 以下更先進的晶體管的大批量生產(chǎn)。隨著 NSTC 開發(fā)能力和計劃，獲得 EUV 光刻研發(fā)對于實現(xiàn)其三個主要目標至關(guān)重要：1） 擴大美國的技術(shù)領(lǐng)先地位；2） 減少原型制作的時間和成本； 3） 建立和維持半導(dǎo)體勞動力生態(tài)系統(tǒng)。
美國商務(wù)部負責標準與技術(shù)的副部長兼國家標準與技術(shù)研究所所長 Laurie E. Locascio表示：“NY CREATES 擁有二十年促進有效公私合作伙伴關(guān)系的成熟經(jīng)驗，自成立以來在半導(dǎo)體研發(fā)、制造和勞動力發(fā)展方面投資超過 250 億美元，具有得天獨厚的優(yōu)勢，可以支持 NSTC 的使命，即提供一個開放的環(huán)境來加速研究，縮短商業(yè)化時間，并在美國發(fā)展可持續(xù)的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)。”
“CHIPS for America EUV 加速器突顯了我們對在美國開發(fā)和推進下一代半導(dǎo)體技術(shù)的承諾，”Natcast 首席執(zhí)行官 Deirdre Hanford 說。“通過與 NY CREATES 的合作，Natcast 和 NSTC 成員將能夠獲得基本的 EUV 光刻工具和工藝，以促進更廣泛的研究并加速未來技術(shù)的商業(yè)化。”
Natcast 和 NY CREATES（一家運營奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體的非營利組織，致力于推動半導(dǎo)體研發(fā)和勞動力發(fā)展）預(yù)計將為 NSTC 成員建立 EUV 加速器，以進行下一代半導(dǎo)體研發(fā)活動。EUV 加速器將于 2025 年開始運營，將使 Natcast、NY CREATES 和 NSTC 成員能夠合作開展研發(fā)活動，這對于實現(xiàn)創(chuàng)新半導(dǎo)體技術(shù)的更快商業(yè)化和加強美國的技術(shù)領(lǐng)先地位至關(guān)重要。EUV 加速器的主要功能預(yù)計將包括：
獲得尖端的 EUV 光刻工具和下一代研發(fā)能力，包括高數(shù)值孔徑 （NA） EUV 系統(tǒng)，預(yù)計到 2025 年將達到標準 NA EUV，2026 年將達到High NA EUV。
召集并促進與行業(yè)、學術(shù)和政府合作伙伴的合作，以推進技術(shù)創(chuàng)新。
專門的 NSTC 現(xiàn)場辦公室，為 Natcast 和 NSTC 成員研究人員提供支持。
支持提供、培養(yǎng)和發(fā)展有才華的員工隊伍的計劃。
努力增加 NSTC 會員和參與度，同時與所有 NSTC 設(shè)施一起營造開放、協(xié)作的研發(fā)環(huán)境。
CHIPS for America NSTC 原型制造和國家先進封裝制造計劃 （NAPMP） 先進封裝試點設(shè)施以及 CHIPS for America 行政和設(shè)計設(shè)施仍在即將推出。該部門和 Natcast 預(yù)計將在未來幾個月內(nèi)宣布有關(guān)選擇附屬技術(shù)中心流程的信息。
Natcast 和 NY CREATES 簽署了一份不具約束力的諒解備忘錄 （MOU），預(yù)計最終合同的預(yù)期期限為 10 年。最終合同需要經(jīng)過盡職調(diào)查、持續(xù)談判和完善某些條款。最終合同中包含的條款可能與此次宣布的諒解備忘錄的條款不同。
