| 如何讓MEMS傳感器智能化 | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：serena | |
| 文檔大小：146 K | |
| 標簽： MEMS | |
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| 文檔介紹：MEMS（微機電系統）傳感器深受運動、加速度、傾斜度和振動測量市場的歡迎。MEMS傳感器是系統級封裝解決方案，具有高分辨率、低功耗和尺寸緊湊等諸多優點。 MEMS完全不同于主要利用硅的電性質的半導體芯片。MEMS的核心部件沒有柵-漏-源三極，而是一個完全由硅制成的微型機械結構。一個典型的MEMS結構包括質量矩滑塊、彈簧和阻尼器，工作原理與質量彈簧模型基本相同。前幾年，MEMS傳感器出現“消費電子化”趨勢。MEMS傳感器開始滲透到消費電子市場，用于解決各種應用問題。未來，MEMS傳感器如何發展？ | |
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