據(jù)發(fā)展北京消息，位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地的江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目近期剛剛開工。據(jù)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，目前正在進(jìn)行工業(yè)廠房土方開挖，下一步將開始打樁作業(yè)，預(yù)計(jì)項(xiàng)目將于2022年底前竣工。

未來(lái)，江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目將建成一條用于半導(dǎo)體、平板顯示器產(chǎn)業(yè)的高純金屬靶材及零部件生產(chǎn)線，年產(chǎn)能將達(dá)到55000件，最終實(shí)現(xiàn)超高純Al、Ti、Ta、Cu、W、Mo等靶材以及設(shè)備關(guān)鍵部件的規(guī)模生產(chǎn)與銷售。

據(jù)介紹，濺射靶材是集成電路裝配的重要基礎(chǔ)原材料。北京商報(bào)指出，至2022年底項(xiàng)目完成后，廠內(nèi)濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件將進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段，未來(lái)將供給中芯國(guó)際，用于半導(dǎo)體、顯示面板等裝配。“目前，我們提供的基礎(chǔ)零部件基本達(dá)到國(guó)內(nèi)一流水平，靶材精度最高可實(shí)現(xiàn)5納米。”

前述負(fù)責(zé)人表示，此次項(xiàng)目系江豐集團(tuán)落地北京的首個(gè)生產(chǎn)廠房。在此之前，其在湖南益陽(yáng)、廣東惠州等地均已建廠，供給客戶包括中芯國(guó)際、京東方等。“此次在京建廠也是考慮到方便為更多大客戶提供靶材，就近配套。”