《電子技術(shù)應(yīng)用》
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國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)第一股來(lái)了?

2021-02-04
來(lái)源:半導(dǎo)體圈+

  2月2日,合肥芯碁微電子裝備股份有限公司科創(chuàng)板IPO注冊(cè)獲中國(guó)證監(jiān)會(huì)批準(zhǔn),安徽自貿(mào)區(qū)合肥片區(qū)高新區(qū)塊迎來(lái)今年首家科創(chuàng)板注冊(cè)獲批企業(yè)。

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  芯碁微裝成立于2015年,坐落于合肥高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)基地,公司專(zhuān)業(yè)從事以微納直寫(xiě)光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。截至目前,公司已獲得了71項(xiàng)技術(shù)專(zhuān)利,獲批建立了“外國(guó)專(zhuān)家工作室”和“第十批省級(jí)博士后科研工作站”,并多次榮獲國(guó)家、省、市大獎(jiǎng)。

  首家國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)制造企業(yè)過(guò)會(huì)

  三年來(lái)業(yè)績(jī)表現(xiàn)不俗

  芯碁微裝是一家于2015年6月成立的年輕公司,主要從事以微納直寫(xiě)光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售以及相應(yīng)的維保服務(wù),主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫(xiě)光刻設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、其他激光直接成像設(shè)備等。

  據(jù)了解,國(guó)內(nèi)A股上市公司中,尚無(wú)與公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域完全相同的企業(yè)。招股說(shuō)明書(shū)顯示,與公司產(chǎn)品相近的境內(nèi)外上市公司分別是日本SCREEN、瑞典Mycronic、美國(guó)KLA-Tencor、美國(guó)Rudolph、臺(tái)灣川寶科技、大族激光。

  芯碁微裝此次擬募集資金4.73億元,其中,2.08億元用于高端PCB激光直接成像(LDI)設(shè)備升級(jí)迭代項(xiàng)目,9380.00萬(wàn)元用于晶圓級(jí)封裝(WLP)直寫(xiě)光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,1.08億元用于平板顯示(FPD)光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目,6355.00萬(wàn)元用于微納制造技術(shù)研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目。2017年至2020年1-6月,芯碁微裝未進(jìn)行股利分配。

  在合肥“國(guó)資委系”的大力支持下,芯碁微裝2017-2019年的業(yè)績(jī)表現(xiàn)十分耀眼:短短三年間,凈利扭虧為盈,從-685萬(wàn)元迅速突破至4,763萬(wàn)元,呈增長(zhǎng)趨勢(shì)。這三年里芯碁微裝都做了什么?

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  這三年里芯碁微裝只做了一件事:“直寫(xiě)光刻技術(shù)”。

  直寫(xiě)光刻設(shè)備打破封鎖

  從PCB向OLED跨越 彌補(bǔ)中國(guó)產(chǎn)業(yè)空白

  光刻是利用光學(xué)—化學(xué)反應(yīng),將設(shè)計(jì)好的微圖形結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面,這三種基材面板對(duì)應(yīng)的最終電子器件分別是:芯片、顯示面板和印制電路板(PCB)。其中,制造PCB的直寫(xiě)光刻設(shè)備由計(jì)算機(jī)控制高精度光束,無(wú)需掩膜就能直接掃描成像。相較傳統(tǒng)掩膜光刻,其不僅省去了多道工序流程,還大幅提升了光刻精度、良品率兩大核心指標(biāo)。

  由于受到《瓦納森協(xié)定》限制,中國(guó)企業(yè)無(wú)法購(gòu)買(mǎi)技術(shù)最先進(jìn)的設(shè)備,直寫(xiě)光刻技術(shù)在中國(guó)并不普及。在此背景下,芯碁微裝苦研直寫(xiě)光刻技術(shù),終于做出了一款“ACURA280激光直接成像設(shè)備”,該設(shè)備能夠用于PCB最高端的基板光刻,一舉填補(bǔ)該領(lǐng)域空白。芯碁微裝因此順利躋身于行業(yè)第一梯隊(duì),自給自足,不再受《瓦納森協(xié)定》限制,甚至在國(guó)際舞臺(tái)上與以色列的Orbotech、日本的ORC展開(kāi)較量。隨著PCB產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)不斷升級(jí),國(guó)產(chǎn)直接成像設(shè)備有望加速實(shí)現(xiàn)對(duì)行業(yè)內(nèi)傳統(tǒng)曝光設(shè)備以及進(jìn)口 PCB 直接成像設(shè)備的替代。

  除PCB制造業(yè)務(wù),芯碁微裝也將直寫(xiě)光刻技術(shù)押注在更有前景的OLED領(lǐng)域,OLED與PCB相比對(duì)精度的要求更高。與合肥打造“IC之都”的藍(lán)景不謀而合。發(fā)行人于 2018 年推出應(yīng)用在FPD 低世代產(chǎn)線的國(guó)內(nèi)首條 OLED 顯示面板直寫(xiě)光刻自動(dòng)線系統(tǒng)(LDW-D1),光刻精度可達(dá) 0.7μm,成功獲得面板客戶(hù)的產(chǎn)線驗(yàn)證,給中國(guó)的OLED制造帶來(lái)了希望。

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  在 IC 掩膜版制版及 IC 前道制造領(lǐng)域,經(jīng)過(guò)多年的深耕與積累,芯碁微裝累計(jì)服務(wù)近 70 家客戶(hù),芯碁微裝直寫(xiě)光刻設(shè)備的客戶(hù)主要為中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、華中科技大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)等高校及科研院所,通過(guò)優(yōu)秀產(chǎn)品幫助客戶(hù)在提升產(chǎn)品品質(zhì)和降低生產(chǎn)成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、無(wú)人化、智能化發(fā)展。

  從PCB到OLED再到IC領(lǐng)域,這個(gè)年輕的公司在一步步升級(jí)直寫(xiě)光刻技術(shù)。秉承“成為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)世界品牌”的奮斗目標(biāo),在“依托自有核心技術(shù),加大研發(fā)力度,開(kāi)拓新型應(yīng)用領(lǐng)域”及“整合行業(yè)資源,打造高端裝備產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈”的戰(zhàn)略發(fā)展方向下,專(zhuān)注于微納直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備領(lǐng)域,力爭(zhēng)成為微納直寫(xiě)光刻領(lǐng)域的國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)。

  芯碁微裝多次被訴“專(zhuān)利侵權(quán)”

  “老東家”撤訴背后或有秘情

  對(duì)于科創(chuàng)板公司而言,科研水平高低和專(zhuān)利成果多少是決定其未來(lái)能否持續(xù)成長(zhǎng)的關(guān)鍵,而欲登陸科創(chuàng)板的芯碁微裝卻在這方面存在一定瑕疵,其與合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司(下稱(chēng)“合肥芯碩”)之間發(fā)生的專(zhuān)利糾紛案,暴露了公司在研發(fā)能力上的不足或疑點(diǎn)。

  說(shuō)起合肥芯碩,它與芯碁微裝的淵源是頗深的。招股書(shū)披露,芯碁微裝的諸多核心成員原先就任職于合肥芯碩。比如芯碁微裝的董事長(zhǎng)程卓,2015年4月至6月曾參與合肥芯碩重整事宜,被當(dāng)時(shí)的合肥芯碩股東會(huì)選為董事長(zhǎng)、財(cái)務(wù)總監(jiān);又比如芯碁微裝現(xiàn)總經(jīng)理方林,原先就是合肥芯碩的技術(shù)骨干,擔(dān)任過(guò)合肥芯碩的研發(fā)部總監(jiān)、技術(shù)部副總經(jīng)理;另外還有芯碁微裝的現(xiàn)任總工程師何少鋒,原先就是合肥芯碩的研發(fā)部總工程師。既然雙方之間關(guān)系曾經(jīng)很密切,可為何兩者之間會(huì)發(fā)生專(zhuān)利糾紛呢?

  像許多“老東家”狀告“單飛”后的新成員一樣,合肥芯碩自2017年4月起,多次以侵害其專(zhuān)利權(quán)為由對(duì)芯碁微裝的核心技術(shù)人員(原先也是合肥芯碩核心技術(shù)人員)方林、何少鋒提起了訴訟,而且這類(lèi)訴訟還發(fā)生了很多次,時(shí)間分別為2017年4月、9月,2018年5月、2019年1月。但需要注意的是,在往年訴訟中,合肥芯碩都因各種各樣的理由最終敗訴了。

  根據(jù)《裁判文書(shū)網(wǎng)》披露的文件顯示,最初合肥芯碩是向方林、何少鋒個(gè)人提起訴訟,但法院認(rèn)為因合肥芯碩未約定競(jìng)業(yè)限制補(bǔ)償金的金額,且超過(guò)三個(gè)月未向方、何二人支付競(jìng)業(yè)限制補(bǔ)償金,且合肥芯碩未在法定時(shí)效內(nèi)以違反競(jìng)業(yè)限制義務(wù)為由向方、何二人主張過(guò)違約責(zé)任,因此合肥芯碩的訴訟請(qǐng)求被法院駁回。

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  此后,合肥芯碩又向芯碁微裝提起訴訟,主要訴求是合肥芯碩認(rèn)為自己的11項(xiàng)專(zhuān)利被侵權(quán),但《紅周刊》記者在文書(shū)中看到,法院判定合肥芯碩涉案的11項(xiàng)專(zhuān)利不是用于制造芯片加工設(shè)備的方法,而是芯片加工設(shè)備在工作過(guò)程中可能需要使用的方法,而芯碁微裝的產(chǎn)品并不屬于使用該11項(xiàng)專(zhuān)利方法制造出來(lái)的產(chǎn)品,而是可能使用了這些專(zhuān)利方法來(lái)加工芯片的芯片制造加工設(shè)備,故合肥芯碩的訴求被駁回。

  然而,“不是用于制造芯片加工設(shè)備的方法,而是芯片加工設(shè)備在工作過(guò)程中可能需要使用的方法”的說(shuō)法,卻在一定程度上還是反映了芯碁微裝的產(chǎn)品涉及到了合肥芯碩的專(zhuān)利。而對(duì)于連續(xù)敗訴的結(jié)果,合肥芯碩顯然并不滿(mǎn)意,這一點(diǎn)可從其之后幾年多次提起上訴的行為仍可看出。

  意外的是,合肥芯碩“鍥而不舍”的上訴行為卻突然在2019年12月戛然而止。據(jù)“裁判文書(shū)網(wǎng)”披露的信息顯示,2019年1月之后合肥芯碩曾不服安徽省高級(jí)人民法院的判決,向最高人民法院申請(qǐng)?jiān)賹彛趯彶檫^(guò)程中,合肥芯碩卻在2019年12月12日突然書(shū)面提出撤回再審申請(qǐng)。

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  要知道,在此前的上訴中,合肥芯碩均以失敗告終,并承擔(dān)了不少的訴訟費(fèi)用,可即便如此其仍然選擇上訴,說(shuō)明審判結(jié)果并不怎么令人信服,可就在其已經(jīng)提交最高人民法院并進(jìn)入審查過(guò)程中,卻在芯碁微裝提交上市申請(qǐng)的關(guān)鍵期撤訴了,這一突然轉(zhuǎn)向的背后原因令人好奇。

  在《紅周刊》記者調(diào)查過(guò)程中,一位不具名知情人向記者透露,“合肥芯碩此次提出撤回再審申請(qǐng),是因?yàn)殡p方已經(jīng)達(dá)成了和解,該案最終以和解方式結(jié)案。”可讓人疑惑的是,這一說(shuō)法并沒(méi)有記錄在裁判文書(shū)網(wǎng)的公開(kāi)文件中,讓人懷疑雙方很可能是尋求了私下和解方式。

  私下和解背后或有“隱情”

  歷經(jīng)多年的專(zhuān)利糾紛,雙方爭(zhēng)議最終以私下和解而告終,這一結(jié)果是非常“耐人尋味”的。從常理來(lái)看,如果不是有足夠證據(jù)證明自己的專(zhuān)利被侵權(quán),合肥芯碩不可能一直申訴下去,而芯碁微裝如果確實(shí)夠“理直氣壯”的話(huà),也不會(huì)接受上述知情人所談到的“私下調(diào)解”方式,理論上,其更愿意尋求公開(kāi)公正結(jié)果,因?yàn)檫@樣可以避免未來(lái)繼續(xù)出現(xiàn)專(zhuān)利糾紛的可能性。

  需要注意的是,在中國(guó)庭審公開(kāi)網(wǎng)關(guān)于此案的開(kāi)庭錄像中,有幾處細(xì)節(jié)印證了芯碁微裝與合肥芯碩的專(zhuān)利“剪不斷理還亂”的關(guān)系。

  首先,2019年3月21日開(kāi)庭的庭審錄像顯示,合肥芯碩代理律師說(shuō)明天津市漢沽公證處(2017)津漢沽證字第280號(hào)公證書(shū)(下稱(chēng)“280號(hào)公證書(shū)”)記載,在方林給程卓的電子郵件關(guān)于商業(yè)計(jì)劃書(shū)和請(qǐng)示匯報(bào)中,“明確將合肥芯碩的11項(xiàng)專(zhuān)利列入合肥芯碁商業(yè)計(jì)劃書(shū)”的事實(shí)。

  此外,280號(hào)公證書(shū)還證明方林在(電子郵件)匯報(bào)請(qǐng)示中,(電子郵件的內(nèi)容)也明確寫(xiě)道:“芯碩的技術(shù)和產(chǎn)品相較于國(guó)內(nèi)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手是有一定口碑的,其無(wú)形資產(chǎn)的價(jià)值恰恰是芯碁微裝所需要的,雖然我們團(tuán)隊(duì)掌握了芯碩的技術(shù),我們也對(duì)外聲稱(chēng)我們可以繞開(kāi)芯碩的專(zhuān)利保護(hù),但是芯碁微裝是無(wú)法擺脫芯碩的痕跡的。”

  而且,在二審期間,合肥芯碩還提交了(2019)皖合衡公證字第880號(hào)公證書(shū)及其附件作為新證據(jù),用以證明QQ電子郵箱214×××@qq。com的用戶(hù)確實(shí)為被上訴人的法定代表人程卓。

  當(dāng)然,在此前案件審理中,合肥芯碩以敗訴而告終,但對(duì)于這些證據(jù)的真實(shí)性,法院還都給予了認(rèn)可,從這點(diǎn)來(lái)看,芯碁微裝在生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)中確實(shí)用到了合肥芯碩的技術(shù)。

  合肥芯碩為何在堅(jiān)持了兩年多之后,突然接受私下和解?背后又有怎樣的秘密未被披露?因?yàn)閺某@韥?lái)看,和解意味著原告被告之間一定達(dá)成了一些相互之間認(rèn)可的協(xié)議。那么,芯碁微裝究竟開(kāi)出了怎樣的條件讓合肥芯碩“欣然接受”?

  從時(shí)間點(diǎn)上來(lái)看,2020年5月13日,芯碁微裝首次發(fā)布招股說(shuō)明書(shū)申報(bào)稿,而2019年12月12日,合肥芯碩提出了撤訴。這一時(shí)間點(diǎn)的背后或是合肥芯碩在當(dāng)時(shí)可能已經(jīng)知道了芯碁微裝的上市計(jì)劃,因?yàn)橐话銇?lái)說(shuō),在企業(yè)發(fā)布招股說(shuō)明書(shū)之前需要改制,而改制后則需要經(jīng)歷券商3個(gè)月甚至更長(zhǎng)的的輔導(dǎo)期,完成之后就是制作上市申報(bào)材料期,一般也需要兩三個(gè)月時(shí)間,因此前兩個(gè)環(huán)節(jié)最快時(shí)間也至少得半年左右。這意味合肥芯碩在2019年12月底撤訴,很可能是芯碁微裝與其達(dá)成一些“秘密協(xié)議”,讓合肥芯碩獲得了其認(rèn)可利益,但疑點(diǎn)在于,如此影響投資人利益的“秘密協(xié)議”,是否需要在招股書(shū)中公開(kāi)披露或進(jìn)行合理解釋呢?如果不是徹底解決專(zhuān)利權(quán)歸屬問(wèn)題,一旦上市后再出現(xiàn)糾紛,很可能影響的就不是一家公司的問(wèn)題,而是所有投資人的權(quán)益都可能會(huì)受到一定影響。

  有意思的是,《紅周刊》記者曾就專(zhuān)利侵權(quán)事件向合肥芯碩了解相關(guān)情況,但合肥芯碩的表現(xiàn)卻是相當(dāng)警惕的。記者撥通天眼查披露的合肥芯碩公開(kāi)電話(huà),接電話(huà)的女士稱(chēng)自己原先只是合肥芯碩的后勤人員,現(xiàn)在已經(jīng)不在合肥芯碩了,并不知道合肥芯碩的相關(guān)情況。此后,《紅周刊》記者又撥通了合肥芯碩官網(wǎng)的聯(lián)系電話(huà),接聽(tīng)方同樣是一名女性,當(dāng)記者詢(xún)問(wèn)這是否是合肥芯碩公司,對(duì)方予以了否認(rèn),在記者表明自己的記者身份后,對(duì)方突然掛斷電話(huà),此后多次撥打再無(wú)人接聽(tīng)。此外,《紅周刊》記者還電話(huà)聯(lián)系到合肥芯碩大股東中夏芯基(上海)科技有限公司,接聽(tīng)方同樣以不清楚公司的具體情況為由,匆匆結(jié)束對(duì)話(huà)。

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  疑點(diǎn)在于,天眼查APP顯露的公司公開(kāi)電話(huà)為何竟是企業(yè)的一名已退休后勤人員電話(huà),這種安排是否符合工商信息相關(guān)披露規(guī)定?介紹商品、招攬客戶(hù)為目的的官網(wǎng)上公開(kāi)披露的電話(huà),接聽(tīng)方竟干脆否認(rèn)是企業(yè)電話(huà)。種種異常現(xiàn)象,實(shí)在是令人不解的。

  


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