德中合作新平臺——江蘇MEMS智能傳感器研究院于不久前在南京正式揭牌成立了，這是由陳立新博士人才團隊、德國國家微系統傳感器研究院、德爾森集團、江寧開發區多方共同設立運營，致力于打造成從事智能MEMS傳感器技術開發與產業化解決方案的傳感器研發平臺。

德爾森一直專注于工業級壓力、差壓傳感器的開發與制造，是國內第一家擁有自己單晶硅傳感器芯片的企業，填補了我國工業級MEMS單晶硅傳感器芯片無法自主研發與制造的空白。在近日舉辦的2018中國（上海）傳感器技術與應用展覽會（SENSOR CHINA 2018）上，德爾森帶來了一款超小型的重量級產品——WET TO WET的單晶硅壓力芯片。

江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監王崢

顛覆性的單晶硅壓力芯片

“傳統的單晶硅壓力和差壓傳感器芯片不能直接接液，腐蝕性的氣體或者液體對它都會造成腐蝕或短路，導致損壞?！?江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監王崢說道，“我們現在推出的第七代WMD芯片是可以直接接觸腐蝕性氣體或液體的，稱為WET TO WET，不需要再充硅油做隔離保護，是目前整個行業里唯一一家推出此款芯片，將來產品實現量產，傳統的利用惰性硅油做隔離傳導的觀念可能就會一去不復返?！?/p>

該芯片的應用場景與德爾森第五代、第六代的MD和HMD的芯片一樣，都可以用于工業、醫療等行業。由于不需要充油保護，它的靈敏度和傳導性都有很大的提升，測量精度和穩定性會進一步提高。

高性價比的陶瓷/金屬單晶硅芯片

展會中還展出了陶瓷/金屬單晶硅芯片，主要優點是性價比高。王崢介紹：“該產品毫伏輸出信號比較大，用于小量程和抗腐蝕性傳感器都是很不錯的，相比傳統行業的壓力傳感器如：陶瓷電容、陶瓷壓阻、擴散硅、金屬電容，都有很大的優勢?！?/p>

研究院開發，子公司量產   

據王崢介紹，江蘇MEMS智能傳感器研究院旗下孵化了很多子公司，由研究院首先針對存在的問題和前端技術做開發，研發成果之后就會轉移旗下的這些子公司去生產、銷售，量產是由生產企業來完成。

WMD芯片剛剛發布，預計在明年會實現芯片的封裝與小批量生產。王崢介紹：“德國主要給我們提供流片加工，芯片的封裝及應用開發都是在國內完成。WMD芯片樣片已經出來了，提供給我院，我院將會著手研發后期封裝及應用?！?/p>

目前德爾森的產品較大部分應用于石油化工行業，由于整個化工廠區非常大，里面人員又相對很少，流量、液位、管道壓力的控制都需要用到相應的傳感器。對于智能家居、智慧城市、工業物聯，在將來會逐步實現全面的智能化，傳感器的應用市場也會加速壯大。

“目前國內MEMS加工技術還有很多路要走，我們和德國緊密結合，目的是探索和發現國外的管理理念和新的技術，我們通過研究院把這些先進的東西帶到國內，造福我們國人。”

隨著國內傳感器行業的發展，流片的需求越來越大，王崢透露將來可能會在南京建立一套全新的流片工藝線：“目前和德國是一個合作的關系，那邊對流片的生產工藝輕車熟路，到了一個恰當的時機，我們完全有可能上一條自己的生產線?！?/p>

據介紹，目前德爾森在中國設立了兩個研發中心，一個在重慶，一個在南京，后期可能會規整到南京，以集團的形式出現，南京將成為其唯一的研發出口。

中國是德爾森最重要的市場之一，也是目前最大的市場?；谠谥袊纳a基地，德爾森的策略是首先把根扎好，先把中國市場發展好，再往外走，最新的WMD芯片也將首先在國內市場推出，相信不久就能體驗其顛覆性成果了。