引言

近年來，對于微小位移的檢測需求日益增大，微波位移傳感器作為一種重要的工具備受矚目，其被廣泛應用于實現高精度、高靈敏度的位移檢測。相比于傳統的光學、電阻式以及聲波位移傳感器存在的問題，如精度低、需要與目標物品接觸以及對環境要求高[1-4]，微波位移傳感器實現了對目標物體的非接觸式測量，避免了傳統傳感器可能帶來的磨損和損壞風險。由于利用了微波信號進行測量，微波傳感器具備較高的測量精度和穩定性，可精準感知目標物體位置和運動狀態。此外，微波傳感器響應速度快，能夠實時監測和反饋目標物體位置與運動狀態，為系統實時控制與調節提供便利。

因此微波位移傳感器的設計和研究工作得到很多研究學者的重視。微波位移傳感器的研究主要分為三類，分別是基于幅值變化的微波位移傳感器、基于相位變化的微波位移傳感器、基于頻率偏移的微波位移傳感器。

Lv、Horestani和Naqui等人提出了幾種基于開口環諧振器（Split Ring Resonator, SRR）耦合共面波導（Coplanar Waveguide, CPW）的一維和二維微波位移傳感器[5-7]，CPW激發SRR，在傳輸系數曲線上產生傳輸零點，通過改變SRR與CPW的相對位置，使得傳輸零點的幅值發生變化，通過幅值的變化來表征位移。Horestani 和Shaterian等人都采用諧振器耦合微帶線的相位變化位移傳感器[8-10]，改變諧振器與端口間的距離，通過反射系數的相位來表征位移。這兩類傳感器通過幅值的變化和相位變化來表征位移量，其受益于單一的工作頻率，但受環境噪聲的影響大，并且不易于測量。

Horestani等人設計了一種寬邊耦合SRR的二維微波位移傳感器[11]，通過位移引起結構對稱性的破壞，使得諧振頻率發生偏移，進而由諧振頻率偏移量來表征位移。基于頻率選擇表面（Frequency Selective Surface, FSS），Zhang等人設計了一個二維位移傳感器[12]，當兩層彼此垂直的金屬條帶諧振器相對位置改變時，FSS的諧振頻率變化即可用來表征位移量，并且利用該FSS的偏振特性實現二維傳感。Rezaee等人通過在CPW中加載缺陷地結構以及在傳輸線中蝕刻槽的方式[13]，使位移能夠引起槽長度的變化，從而導致CPW的傳輸零點發生偏移，在建立了傳輸零點與位移之間的關系后即可表征二維位移。這類傳感器與之前的幅值變化和相位變化的傳感器相比，使用頻率特性來表征位移，受環境因素的影響小，易于實現精確測量。

本文設計了一款基于SRR的二維微波位移傳感器，將動子放置在SRR上方，動子位移時，SRR的諧振頻率發生變化，傳輸零點也隨之產生偏移。為實現二維位移傳感，在x和y方向上分別加載了不同尺寸的SRR，產生兩個相互獨立的傳輸零點，分別對應x和y方向。通過建立傳輸零點與位移的之間的關系，實現了對二維位移精確表征。該傳感器具有結構簡單、受環境因素影響小和易于實現精確測量等優點，適用于需求精準、高靈敏度的二維位移檢測場景。

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作者信息：

袁汪楷，馬潤波

（山西大學 物理與電子工程學院，太原 030006）