據中國海關數據匯總顯示，2023 年，中國大陸用于芯片制造的半導體設備的進口總額達到了接近 400 億美元，同比增長了 14%，這也是自 2015 年有記錄以來的第二大進口額，反應了中國積極發展半導體制造業的努力。

數據顯示，中國大陸于 2023 年 12 月從荷蘭進口的光刻設備金額高達 11 億美元，同比增長近 1000%，環比增長也高達 44.2%。

根據之前的數據顯示，中國大陸于 2023 年 11 月進口了 42 臺光刻設備，總價值高達 8.168 億美元。其中，有 16 臺光刻機是來自荷蘭的 ASML，總價值 7.627 億美元，同比增長了 1050%。

2023 年 10 月中國大陸從荷蘭進口的光刻機數量更是高達 21 臺，總價值為 6.725 億美元，相比比 11 月進口的 16 臺光刻機的總價值還要低。顯然，如果從均價來看，11 月中國從荷蘭進口的光刻機均價要比 10 月進口的光刻機高出 46%。

整體來看，在 2023 年四季度，中國大陸從荷蘭 ASML 進口的光刻機總額達到了 25.352 億美元。

根據業界的分析，近幾個月來，中國大陸從荷蘭 ASML 進口的光刻機數量和進口額的激增，可能是 ASML 趕在其許可證在 2023 年 12 月 31 日失效前匆忙出貨的結果。

2023 年 9 月 1 日，荷蘭政府此前于 6 月底頒布的有關先進半導體設備的額外出口管制的新條例正式生效。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進的芯片制造技術，包括先進的沉積設備和浸沒式光刻系統。

當時 ASML 發言人就表示，盡管荷蘭出口限制從 9 月開始生效，但該公司現有的許可證仍能夠允許其在 2023 年底前繼續將 NXT:2000i 和更先進的 DUV 光刻機運送到中國。" 我們的客戶了解出口管制法規，因此他們知道，自 2024 年 1 月 1 日起，我們不太可能獲得向中國國內客戶運送這些系統的出口許可證。"

Stiftung Neue Verantwortung 科技與地緣政治經理 Jan-Peter Kleinhans 表示，ASML 近幾個月出貨到中國大陸的設備，多數在 2022 年底或 2023 年初就已取得了許可。他說，ASML 在 2023 年中的前置時間大約 18 個月，意味著 2023 年第四季出貨的設備，應該是在 2022 年 Q2 或 Q3 就已下了訂單。

值得注意的當地時間 2024 年 1 月 1 日，光刻機大廠 ASML 發布聲明稱，荷蘭政府最近已經部分吊銷了 2023 年發貨 NXT:2050i 和 NXT:2100i 光刻系統的許可證，影響到了少數中國客戶。也就是說，ASML 的部分對中國客戶的出口許可證在 2023 年 12 月 31 日到期之前，就已經被荷蘭政府吊銷了。

不過，隨后 ASML 官方對外表示，中國大陸客戶預付購買 DUV 光刻機所積壓訂單基本都已完成交付。