1月6日消息，此前，ASML傳出其柏林工廠發生火災的消息，不過ASML并未公布受損情況。
時至今日，市調機構TrendForce公布了該起火災的初步調查結果：ASML的32000平方米的柏林廠區中，約有200平方米的廠區受到火災影響，并且該部分廠區主要負責供應EUV光刻機的光學部分的零組件，所以，這場火災或將導致ASML的EUV光刻機的交付時間。
目前的光刻機市場里，只有ASML一家企業可以供應EUV光刻機。2021年10月，ASML發布了其Q3財報，總營收為52．4億歐元（約合人民幣390．3億元），同比增長32．3％，環比增長30．3％；凈利潤為17．4億歐元（約合人民幣129．6億元），同比增長64．2％，環比增長67．3％；
ASML總裁Peter Wennink表示，ASML三季度的光刻機訂單新增金額62億歐元，單季EUV光刻機的出貨量及營收都創歷史新高，其中，EUV光刻機的訂單量達到了29億歐元，目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE：3600D，其在客戶那里也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率。
值得一提的是，目前全球性的芯片短缺問題至少將持續到今年年底，而且當前多家芯片代工廠正規劃建設更多的芯片制造廠以擴充芯片產能，對于EUV光刻機設備的需求量巨大，如果這次火災影響到了光刻機的交付，或將對整個半導體產業帶來巨大沖擊。
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