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荷蘭巨頭ASML將推出更新型的光刻機 比EUV還先進

2021-12-16
來源:運營商財經網
關鍵詞: ASML 光刻機 EUV

12月14日消息,CNBC 報道稱,全球最先 進的光刻機廠商荷蘭AMSL公司正在開發一種新版本的EUV光刻機,將成為世界上最先 進的芯片制造設備。中國現在連EUV光刻機都買不到,所以,對于這種更新型的光刻機,更要警惕。

這種光刻機被稱為 High NA(高數值孔徑)。據稱,第一臺高 NA 機器仍在開發中,預計從 2023 年開始提供先行體驗,以便芯片制造商可以更快地開始驗證并學會如何使用。然后,客戶可以在 2024 年和 2025 年將以此進行自己的研發工作。從 2025 年開始,它們很可能用于大批量制造。

這種NA光刻機可以讓芯片制造商研制出更復雜的芯片。光刻機是芯片生產工具,是生產大規模集成電路的核心設備,對芯片工藝有著決定性的影響。小于5納米的芯片晶圓,只能用EUV光刻機生產。EUV光刻機如今名氣巨大,其實推出時間并不長。

NV光刻機還沒問世,就已被全球各芯片廠盯著。今年 7 月,英特爾首席執行官表示,該公司有望成為 ASML 新機器的第一個接收者。

而2018年4月,中芯國際向阿斯麥下單了一臺EUV(極紫外線)光刻機,按理于2019年初交貨,卻迄今未收到貨,因為美國為了限制荷蘭ASML公司向中國公司出口極紫外光刻機(EUV),對荷蘭屢次施壓。  最終,荷蘭不再續簽 ASML 的出口許可。而中國則是 ASML 公司的第二大客戶,占其營業總收入的 20%,ASML也希望能增加其在華的銷量。

假如幾年之后ASML公司推出更新型的光刻機,那中國和國外的芯片代工能力的差距有可能進一步拉大。




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