近日，光刻機(jī)制造企業(yè)ASML公布了2021年第二季度財(cái)報。財(cái)報顯示，ASML凈銷售額為40億歐元，毛利率為50.9%，凈收入10億歐元。

根據(jù)ASML的的財(cái)報透露，當(dāng)前第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付，不過并沒有透露客戶的具體名字。此次全新的光刻機(jī)相比NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15-20%，覆蓋率提高了約30%。

值得注意的是，ASML第二季度的預(yù)訂額為83億歐元，其中EUV極紫外光刻機(jī)就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達(dá)175億歐元，這足以證明當(dāng)下光刻機(jī)的生產(chǎn)仍有預(yù)訂壓力。ASML表示，正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計(jì)劃協(xié)助三個DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。預(yù)計(jì)ASML在第三季度的凈銷售額52-54億歐元，毛利率51-53%。

據(jù)悉，目前ASML的EUV光刻機(jī)仍屬于第一代產(chǎn)品，最早一代產(chǎn)品是NXE:3400B，其晶圓產(chǎn)能只有125PWH。而當(dāng)前的助力產(chǎn)品為NXE:3400C，晶圓產(chǎn)能產(chǎn)能提升到135WPH，最新的NXE:3600D光刻機(jī)其產(chǎn)能進(jìn)一步增加，提升至160WPH，其價格有可能達(dá)到1.45億美元。此外，ASML也將在未來幾年推出第二代EUV光刻機(jī)，或?qū)⑹荖XE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度，價格可能來到3億美元，原計(jì)劃將于2023年推出，目前推遲至2025-2026年。